郑州股票配资公司芯恩(青岛)集成电路取得狭缝阀装置及半导体设备专利, 减少气体在狭缝阀通道中形成的紊流

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金融界2025年1月1日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“狭缝阀装置及半导体设备”的专利，授权公告号CN222229649U，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种狭缝阀装置及半导体设备，包括：狭缝阀本体、第一气阀、封挡板以及驱动件；狭缝阀本体内设有前后贯通的通道；第一气阀设于狭缝阀本体的顶部且用于向通道内喷射气体；封挡板可转动地设于狭缝阀本体内；驱动件与封挡板驱动连接以驱动封挡板的打开和闭合，在封挡板闭合时，封挡板封挡于通道内且靠近第一气阀设置，以将通道分隔为相互独立的第一空间和第二空间，其中第一空间与所述第一气阀连通。本实用新型在封挡板闭合时，封挡板封挡于通道内，第一气阀只吹向其中空间而另一空间因门阀关闭可处于密闭状态，减少了气体在狭缝阀通道中形成的紊流，防止在门阀位置累积沉积物和外界颗粒，有利于腔体内流场的稳定性。

本文源自：金融界郑州股票配资公司

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